مروری بر ساختار سیستم های میکروالکترومکانیکی

فناوری سیستم های میکروالکترومکانیک، فناوری دستگاه های بسیار کوچک است و آن را در مقیاس نانو به سیستم های نانوالکترومکانیکی و فناوری نانو درمی آورد. اگرچه این فناوری در حال حاضر به روش آزمون و خطا طراحی می شود، اما حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک ها و قطعات الکترونیکی روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی است. تولید سیستم های میکروالکترومکانیکی به کمک یکی از بنیادی ترین فناوری ها انجام می شود. میکرو ماشینکاری سیلیکونی پیشرفته ترین فناوری میکرو ماشینکاری است. امروزه در کشورهای پیشرفته جهان، توسعه تلفیقی سیستم های مکانیکی و الکترونیکی در ابعاد بسیار کوچک مورد نظر است؛ زیرا این حوزه مهم علمی موجب افزایش سرعت و کاهش حجم در بخش های مختلف صنعت خواهد شد. فناوری سیستم های میکروالکترومکانیکی در صنایع گوناگون و اثرگذار جهان از جمله صنعت خودروسازی، موشکی، تولید انواع تراشه و صنایع نظامی کاربرد بسیار زیادی دارد. علاوه بر تجاری سازی برخی دستگاه های میکروالکترومکانیکی، که دارای یکپارچگی کمتری هستند مانند میکروشتاب سنج ها، مفاهیم و امکان پذیری بیشتر سیستم های میکروالکترومکانیکی پیچیده برای کاربرد هایی در زمینه های متنوع همچون سیستم های بی سیم و اپتیک ارائه شده است. در این مقاله به برخی از ابعاد گوناگون این بخش از صنعت اشاره شده است.